Bérangère Lesaint (MATEIS), Thierry Douillard (MATEIS), Solène Brottet (INL)
L’ILION est un polisseur ionique à faisceaux d’ions Argon peu focalisés utilisé pour les préparations MEB (imagerie et EBSD) de tout style de matériaux (acier, polymère, céramique). Il est commercialisé par la Société GATAN. Le modèle-ci est équipé d’une platine cryogénique permettant de refroidir les échantillons fragiles tels que les polymères, le papier, … jusqu’à -120°C.
Deux canons envoient des faisceaux d’ions argon sur l’échantillon afin de créer une zone de polissage correcte pour l’imagerie MEB et EBSD.
Il y a possibilité de faire varier différents paramètres pour atteindre un polissage parfait : la tension, le nb de tour/min de la platine, les angles des canons (planar milling seulement), la température et le temps d’abrasion.
L’appareil a la possibilité de polir de deux façons :
Utilisation de masques en Titane dont la durée de vie est de 8h à 8KeV. Le collage de l’échantillon se fait essentiellement à la laque d’argent. La zone polie est d’environ 500µm de profondeur et jusqu’à 1800µm de largeur (selon la nature de l’échantillon). |
Utilisation d’un support spécial, le collage de l'échantillon se fait à la laque d'argent. Ce type de polissage prépare à l'EBSD. La surface doit malgré tout être pré-polie au minimum à l'OPS 0.03µm. |
Photo 1 : Céramique | Photo 2 : Batterie Lithium | Photo 3 : CrAlYN | Photo 4 : XTM | Photo 5 : Cobalt |