FIB Zeiss NVision 40
FIB/SEM workstation : Association d'un faisceau d'ions focalisé (FIB), d'un système d'injection de gaz, d'outils analytiques et de nano-manipulateurs à un microscope électronique à balayage (SEM)
Equipe microscope FIB/SEM
Thierry Douillard (MATEIS), Nicholas Blanchard (ILM), Rémy Fulcrand (ILM), Cyril Langlois (MATEIS), Florent Dalmas (MATEIS), Solène Brottet (INL).