MEB FEI XL30

Equipe Microscope

France Simonet (IRCELYON), Pierre Alcouffe (IMP), Sylvie Descartes (LaMCoS), Annie Malchère (MATEIS).

 

Présentation du microscope

Le microscope ESEM-FEG du CLYM est un microscope à balayage environnemental, installé au CLYM en 2002. Il permet le contrôle de la pression dans une gamme allant du haut vide à 10 torrs. Il est équipé d'un canon FEG et d'une large chambre.

 

Particularité du microscope

L'arrivée en 2018 du nouveau microscope environnemental QUATTRO de Thermo Fisher Scientific, a permis d'actualiser les performances en mode environnemental au CLYM. L'XL30 est tout de même conservé pour ses bons résultats dans les modes classiques suivants :

  • Haut vide (détecteurs SE et BSE 4 cadrans),
  • Pression contrôlée sous vapeur d'eau ou air (détecteurs GSED, LF, EDS cône long, GAD),
  • STEM sous vide ou en pression contrôlée (détecteur en mode champ sombre),
  • EDS en haut vide, pression variable, et en STEM (Système OXFORD avec détecteur X-Max 50 mm2)
  • EBSD (Système OXFORD avec caméra Symmetry)

 

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