AFM Bruker Dimension V

Equipe Microscope

David Albertini (INL), Solène Brottet (INL)

Présentation du microscope

Le Bruker Dimension 3100 permet, grâce au couplage avec une électronique Nanoscope V de dernière génération, de réaliser de la microscope à force atomique de haute résolution.

Ce microscope permet de scanner de grands échantillons grace à sa tête positionnée au dessus d'un plateau motorisé, cela permet d'analyser des échantillons allant jusqu'à 6 pouces.

Afin d'optimiser les expériences le microscope est équipé d'un système anti-vibration assuré par une table sur coussin d'air active et un caisson.

• Les modes classiques disponibles sont : Contact; Lateral Force Microscopy; Tapping; Phase; Interleave; FM; Force Spectroscopy; Piezo Force Microscopy;
• Les modes électriques disponibles avec les modules particuliers sont : Conductive AFM; SCM and Resistance mapping

Particularités du microscope

Les plages de balayages classiques de la céramique de la tête Bruker sont de 500nm à 50µm en open loop

Une platine (npoint balayant selon deux axes X et Y) est disponible en remplacement du plateau 6 pouces. Cette platine permet un débattement de 100µm maximum couplé avec un système de repositionnement (close loop) performant.

Des modules électriques peuvent être associé à ce microscope :

• Module TUNA : réalisation d'images de courant avec des résolution de 1pA/v jusqu'à 100nA/V
• Module SSRM : mesures de résistances localisées
• Module SCM : mesures qualitatives de dopage localisées

Photothèque

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